ИИ и сложнейшие проблемы мира · Химия и материалы · arXiv · 2026-10-19
От поверхностных реакций к покрытию ингибитором: вычислительное исследование area-selective атомно-слоевого осаждения с помощью машинного обучения
Оригинальное название: From Surface Reactions to Inhibitor Coverage: A Machine-Learning-Assisted Computational Study of Area-Selective Atomic Layer Deposition
Предсказание покрытия ингибитором необходимо для оптимизации блокирования поверхности при селективном по площади атомно-слоевом осаждении (AS-ALD). Авторы объединили предобученный универсальный межатомный потенциал на основе машинного обучения с внерешёточными большими каноническими симуляциями Монте-Карло, чтобы изучить адсорбцию ингибиторов и блокирование прекурсоров на аморфном SiO2. Основными центрами адсорбции были силанольные группы, а ингибиторы, образующие одинаковые фрагменты, всё же могли различаться по покрытию из-за стерических ограничений, создаваемых нетронутыми молекулами.