IA e os Problemas Difíceis do Mundo · Química e materiais · arXiv · 2026-10-19
Das Reações de Superfície à Cobertura de Inibidores: Um Estudo Computacional Assistido por Aprendizado de Máquina da Deposição Seletiva por Área de Camada Atômica
Título original: From Surface Reactions to Inhibitor Coverage: A Machine-Learning-Assisted Computational Study of Area-Selective Atomic Layer Deposition
Prever a cobertura de inibidores é essencial para otimizar o bloqueio de superfície na deposição de camada atômica seletiva por área (AS-ALD). Os autores combinaram um potencial interatômico universal de aprendizado de máquina pré-treinado com simulações de Monte Carlo grand-canônico fora da rede para estudar a adsorção de inibidores e o bloqueio de precursores em SiO2 amorfo. Os grupos silanol foram os principais sítios de adsorção, e inibidores que formam fragmentos idênticos ainda podiam diferir na cobertura devido a restrições estéricas das moléculas intactas.