L'IA face aux grands problèmes du monde · Chimie et matériaux · arXiv · 2026-10-19
Des réactions de surface à la couverture par l'inhibiteur : étude computationnelle assistée par apprentissage automatique du dépôt de couches atomiques à sélectivité de zone
Titre original: From Surface Reactions to Inhibitor Coverage: A Machine-Learning-Assisted Computational Study of Area-Selective Atomic Layer Deposition
La prédiction de la couverture par l'inhibiteur est essentielle pour optimiser le blocage de surface dans le dépôt par couches atomiques sélectif en zone (AS-ALD). Les auteurs ont combiné un potentiel interatomique universel d'apprentissage automatique pré-entraîné avec des simulations Monte Carlo grand-canoniques hors réseau pour étudier l'adsorption des inhibiteurs et le blocage des précurseurs sur du SiO2 amorphe. Les groupes silanol étaient les principaux sites d'adsorption, et des inhibiteurs formant des fragments identiques pouvaient néanmoins différer en couverture en raison de contraintes stériques imposées par les molécules intactes.