La IA y los problemas difíciles del mundo · Química y materiales · arXiv · 2026-10-19
De las reacciones superficiales a la cobertura del inhibidor: un estudio computacional asistido por aprendizaje automático de la deposición de capas atómicas selectiva por área
Título original: From Surface Reactions to Inhibitor Coverage: A Machine-Learning-Assisted Computational Study of Area-Selective Atomic Layer Deposition
Predecir la cobertura del inhibidor es esencial para optimizar el bloqueo de superficies en la deposición de capas atómicas selectiva por área (AS-ALD). Los autores combinaron un potencial interatómico universal de aprendizaje automático preentrenado con simulaciones de Monte Carlo gran canónico fuera de red para estudiar la adsorción de inhibidores y el bloqueo de precursores sobre SiO2 amorfo. Los grupos silanol fueron los principales sitios de adsorción, y los inhibidores que forman fragmentos idénticos aún podían diferir en cobertura debido a restricciones estéricas de las moléculas intactas.