KI und die schwierigen Probleme der Welt · Chemie & Materialien · arXiv · 2026-10-19
Von Oberflächenreaktionen zur Inhibitorbedeckung: Eine maschinenlerngestützte computergestützte Studie zur flächenselektiven Atomlagenabscheidung
Originaltitel: From Surface Reactions to Inhibitor Coverage: A Machine-Learning-Assisted Computational Study of Area-Selective Atomic Layer Deposition
Die Vorhersage der Inhibitorbedeckung ist entscheidend, um die Oberflächenblockierung bei der flächenselektiven Atomlagenabscheidung (AS-ALD) zu optimieren. Die Autoren kombinierten ein vortrainiertes universelles maschinell gelerntes interatomares Potenzial mit gitterfreien großkanonischen Monte-Carlo-Simulationen, um die Adsorption von Inhibitoren und die Blockierung von Präkursoren auf amorphem SiO2 zu untersuchen. Silanolgruppen waren die primären Adsorptionsstellen, und Inhibitoren, die identische Fragmente bilden, konnten sich dennoch in der Bedeckung unterscheiden, bedingt durch sterische Einschränkungen der intakten Moleküle.