الذكاء الاصطناعي ومشكلات العالم الصعبة · الكيمياء والمواد · arXiv · 2026-10-19

من التفاعلات السطحية إلى تغطية المثبّط: دراسة حسابية بمساعدة التعلّم الآلي للترسيب الذري الطبقي الانتقائي للمساحة

العنوان الأصلي: From Surface Reactions to Inhibitor Coverage: A Machine-Learning-Assisted Computational Study of Area-Selective Atomic Layer Deposition

يُعدّ التنبؤ بتغطية المثبّطات أمرًا أساسيًا لتحسين حجب السطح في الترسيب الذري الطبقي الانتقائي للمساحة (AS-ALD). جمع المؤلفون بين جهد ذري بيني تعلّمي آلي شامل مُدرَّب مسبقًا ومحاكاة مونت كارلو الكنسية الكبرى خارج الشبكة لدراسة امتزاز المثبّطات وحجب السلائف على SiO2 غير المتبلور. كانت مجموعات السيلانول مواقع الامتزاز الرئيسية، ويمكن للمثبّطات التي تشكّل شظايا متطابقة أن تختلف مع ذلك في التغطية بسبب القيود الفراغية الناشئة عن الجزيئات السليمة.

اقرأ المصدر الأصلي ↗

جميع العناصر →